大陸已開始量產自主研發的浸潤式深紫外光(DUV)曝光機，引發投資人擔憂ASML在中國市場的長期成長。圖／路透
市場傳出大陸已開始量產自主研發的浸潤式深紫外光（DUV）曝光機，消息引發投資人擔憂ASML在中國市場的長期成長前景，拖累半導體設備股全面下殺，ASML股價在美股27日收盤重挫5.8%。對此，摩根大通分析師認為，市場反應過度。不過，知名半導體分析師陸行之則認為，短期內雖難以撼動ASML地位，但長線的「國產替代」效應仍是隱憂。
綜合外媒引述科技媒體《The Information》報導指出，大陸一家未具名、具官方背景的企業已開始生產DUV曝光機，預計今年可生產5台，明年產能提升至20台。雖然相關設備在性能與可靠度上仍落後國際大廠，後續也需要更多測試與驗證，但市場擔心，若設備逐步成熟，長期恐挑戰ASML在大陸市場的地位。
由於美國出口管制已限制大陸取得極紫外光（EUV）曝光機，DUV曝光機成為大陸晶片製造商目前能取得、且可用於較先進製程生產的重要光刻設備。隨著美國考慮進一步收緊對大陸DUV設備出口及維修服務限制，大陸也加速推動本土半導體設備自研，以降低對海外設備供應商依賴。
市場人士指出，大陸目前除推進國產DUV之外，也積極研發國產EUV設備，但仍處於原型機階段，距離成熟量產仍有一段距離。不過，國產DUV若能逐步建立供應能力，將使大陸晶圓廠在成熟製程設備取得上，多一項本土替代來源。
摩根大通（小摩）分析師迪斯凡德(Sandeep Deshpande)認為，ASML股價這波下殺屬於過度反應。他指出，大陸多年來一直生產較低階曝光設備，但至今尚未對ASML在前段晶圓製造設備市場的市占率造成實質影響。ASML在技術能力、穩定度與量產規模上仍維持明顯領先，因此這波賣壓更偏向市場情緒驅動，而非基本面突然惡化。
不過，小摩也提醒，大陸半導體設備國產化的趨勢已愈來愈明確，未來確實可能提高ASML大陸營收面臨的長期風險。
美銀證券分析師Didier Scemama則認為，大陸本土設備短期內對ASML構成的威脅仍相當有限。即使大陸明年成功生產20台國產DUV設備，對ASML銷售額造成的影響約14億歐元，僅占ASML預估整體營收2.4％。
ASML近年其實已逐步降低對大陸市場與DUV設備的依賴。公司資料顯示，大陸市場占ASML營收比重，已由2024年的41％降至2025年的33％，今年第二季進一步降至14％。同時，全球AI熱潮帶動各類晶片需求升溫，也推升大陸以外市場對DUV設備的需求。
目前ASML每年約可生產130台DUV浸潤式曝光機，公司規劃2027年將產能提高30％，2028年則視需求再增加30％，以因應AI基礎建設擴張所帶來的設備需求成長。
知名半導體分析師陸行之指出，若以大陸自研DUV初期產能，對比ASML明、後年預估出貨量169台與220台來看，短期對ASML衝擊確實有限。況且大陸國產設備在量產過程中，仍可能面臨良率不穩定與驗證時程延後等風險。
不過，陸行之也提醒，大陸客戶在無法取得ASML高階浸潤式DUV的情況下，勢必會加速轉換使用國產機台，將影響到ASML原本享有高利潤的「安裝基底服務」（Installed Base Management）營收。
2026/07/28 12:24
轉載自中時新聞網: https://www.chinatimes.com/realtimenews/20260728002226-260410
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