台積電董事長魏哲家今日首度明年說明尚未決定導入High-NA EUV生產的原因，強調公已買設備投入研發、待成本下降再導入量產。記者簡永祥／攝影
台積電今日股東會上，有股東關切台積電是否因成本考量而不投入下一代High-NA EUV（高數值孔徑極紫外光）微影設備，恐影響未來先進製程競爭力。對此，台積電董事長魏哲家親自回應表示，外界誤解台積電沒有投資High-NA設備，事實上公司不僅已經採購設備，也正積極進行相關研發工作，只是現階段尚未導入量產。
魏哲家指出，High-NA EUV目前最大的挑戰仍是成本偏高，因此台積電現階段重點在於提升設備生產力（Productivity），進一步發揮技術優勢並降低生產成本。待整體成本效益達到經濟規模後，台積電就會將High-NA技術正式導入生產。
他強調，台積電並非不投資High-NA，而是持續進行相關研發與設備布局，「我們有買，而且正努力做各種研發。」至於實際採購數量，魏哲家則笑稱「買幾台就不好意思講」。
市場普遍認為，High-NA EUV將是2奈米以下乃至A14、A10等更先進製程的重要技術工具。目前設備主要由艾司摩爾（ASML） 供應，單台售價高達數億美元。由於成本、產能及導入效益仍待驗證，包括台積電、英特爾與三星均採取不同導入策略。
此外，股東也建議台積電未來可取消紙本年報，以符合ESG永續精神。魏哲家回應，紙本年報目前涉及主管機關規定，未來將向政府反映相關建議，希望在兼顧法規與環保目標下尋求改善方案。
2026/06/04 09:59
轉載自聯合新聞網: https://udn.com/news/story/7240/9544962?from=udn-ch1_breaknews-1-99-news
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