陳麗珠／核稿編輯
〔財經頻道／綜合報導〕全世界半導體製造商都依賴的設備就是曝光機，荷商ASML是行業巨擘，EUV曝光機更是先進製程必備神器。美媒指出，每台要價1.7 億美元至3.7 億美元（台幣55.7億至121.3億）的EUV最大天敵，台積電最擔心的是地震，英特爾則曾發現廠區附近農場的乳牛每天大量放屁，產生的甲烷因凌晨風向改變，通過空氣淨化器進入無塵室，影響曝光機運作效率，最終謹記教訓，不要將晶圓廠蓋在牛屁多的地方。
《華爾街日報》專欄作家柯恩（Ben Cohen）跟著ASML工程師霍爾 （Brienna Hall），一窺ASML設備精密之處及維修工程師的工作過程。
柯恩提及，霍爾是ASML派駐在美光的機械工程師，負責維護的EUV曝光機售價 1.7 億美元。至於ASML最新一代的EUV（High-NA EUV）售價更高達 3.7 億美元。這些價值高昂的設備最引人注目的地方在於它們都是ASML製造。
柯恩說，EUV曝光機堪稱是一項奇蹟，其中兩件事令人無法忘懷，一是ASML 與一家德國光學公司（指蔡司）合作開發的鏡片，若把鏡片放到像整個德國這麼大，整個鏡面量測出的誤差，也不會超過1毫米；二是EUV 的精度相當於從您的房屋引導雷射光束並在月球上打乒乓球。
柯恩還指出，這些極其複雜的設備花了幾十年的時間，才從實驗室搬到工廠。直到最近，人們還不清楚ASML對 EUV 技術的大膽押注是否會得到回報。因為2012年ASML因現金短缺，將23%的股權出售給台積電、英特爾、三星電子，這意味著其最大的客戶實際上為該公司的成功進行投資。
ASML在2010 年交付第一台 EUV 設備，去年更是忙碌的一年，ASML 總共出貨 42 台 EUV。目前仍然只有6家公司擁有這些用於晶片製造的設備，許多其他公司則間接依賴 ASML。
蘋果和輝達都設計自己的晶片，並委由台積電代工，這意味著 ASML 的技術對於製造從人工智慧資料中心到 iPhone 的一切產品，都至關重要。EUV 機器變得如此重要，以至於該公司現在僱用1萬工程師支援客戶，以確保這些設備正常運作。ASML首席客戶長庫曼（Jim Koonmen）強調，他們是ASML的前線部隊。
誠如荷蘭記者 Marc Hijink 曾在其著作《Focus: The ASML Way》所描述，ASML 的客戶希望他們的光刻工具能夠日夜運行，但中斷是不可避免且不可預測的，書中提及台積電擔心地震，而英特爾曾經將曝光機問題追溯到風向的變化，原因是從附近的乳牛場吹來甲烷氣體-牛放屁。
根據先前披露的訊息，英特爾的員工曾發現，每當凌晨1至2點之間，曝光機的吞吐量都會突然下降。經過長時間排查，英特爾終於找到凶手，就是可愛的鄰居-幾百頭乳牛。附近農場的乳牛每天大量放屁，產生的甲烷因凌晨1-2點的風向改變，通過空氣淨化器進入無塵室，影響曝光機的效率，英特爾因而謹記教訓，不要將晶圓廠蓋在牛屁多的地方。
柯恩強調，除了牛放屁之外，曝光機故障很少見，但EUV是每個晶圓廠的瓶頸，如果整個工廠發生故障，都會有備份，這就是 ASML 在世界各地全天候僱用員工的原因。
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2025/01/04 09:06
轉載自自由時報電子報: https://ec.ltn.com.tw/article/breakingnews/4912404
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