RESOLUTE系列光學尺在TOYO空氣軸承運動平台的應用。圖／雷尼紹提供
隨著半導體、Micro LED、PCB、精密光學及自動光學檢測（AOI）等產業持續朝向高精度、高速度及高穩定性的製程發展，精密運動平台已成為高階設備不可或缺的核心技術。台灣精密運動平台製造商TOYO Nano System（東佑奈米系統）近年攜手英國精密量測品牌Renishaw，將高精度光學編碼器導入空氣軸承運動平台，不僅突破微米至奈米級定位精度，也協助設備製造商提升整體運動控制效能，滿足新世代智慧製造需求。
空氣軸承（Air Bearing）利用壓縮空氣形成極薄氣膜，使運動平台在非接觸狀態下運行，大幅降低摩擦、振動與磨耗，具有低噪音、高平坦度及長壽命等優勢，因此廣泛應用於半導體設備、平面顯示器、PCB、雷射曝光及AOI等高階設備。
TOYO多年來投入空氣軸承平台自主研發，採用共平面（Coplanar）專利結構設計，將節流元件直接整合於花崗岩平台內部，相較傳統外掛式設計，可兼具高剛性、承載能力與組裝效率。平台重複定位精度可達0.3微米，並有效降低XY軸堆疊所造成的累積誤差，部分機型加速度更可達10G，充分滿足高速、高精度製程需求。
高性能空氣軸承平台除了機構設計外，更仰賴高精度位置回授系統。TOYO導入Renishaw RESOLUTE™絕對式光學編碼器，以及VIONiC™、QUANTiC™、ATOM™等系列產品，提供50奈米解析度及極低訊號誤差，確保平台於高速運動下仍能維持穩定定位能力。
其中，Renishaw VIONiC光學編碼器抖動值僅1.6奈米（RMS），可有效提升平台靜止定位穩定性。RESOLUTE系列則具備低細分誤差（SDE），有助降低速度漣波，特別適合AOI檢測、PCB印刷及直接成像（DI）曝光等對速度穩定性要求極高的應用。
TOYO採取全檢制度，而非抽樣檢驗，每座運動平台出廠前均使用Renishaw XL-80雷射干涉儀完成精度校正與性能驗證，並提供完整測試報告。大型設備完成客戶端安裝後，也會再次進行雷射校正，確保設備維持最佳定位精度。
TOYO東佑達副總經理鄧貴敦表示，Renishaw產品不僅具有高度可靠性與穩定性，更擁有完整產品線，可依不同應用需求提供最適合的光學編碼器解決方案。多年合作以來，客戶端幾乎未曾發生編碼器故障回報，也建立雙方長期合作基礎。
近年AI、高效能運算（HPC）及先進封裝快速發展，帶動全球半導體設備需求持續升溫，也使精密運動控制技術的重要性日益提升。光學編碼器已不只是位置感測元件，更是提升設備效率、良率與可靠度的重要關鍵。
鄧貴敦表示，未來將持續投入標準化空氣軸承模組、空氣軸承直驅旋轉馬達等新產品研發，聚焦Micro LED、半導體、自動化設備及精密量測等高附加價值市場；同時結合Renishaw在光學編碼器、雷射校正及精密量測領域的技術優勢，持續打造兼具高速、高精度與高可靠性的運動控制平台，協助全球設備製造商迎向智慧製造與高階精密加工新世代。
2026/08/10 18:11
轉載自中時新聞網: https://www.chinatimes.com/realtimenews/20260810003544-260410
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