台灣新聞通訊社-大陸自主生產DUV推手!神祕黑馬成立僅3年 超低調沒官網

美國強硬制裁促進大陸晶片自主化。(示意圖/shutterstock達志)

市場傳出,大陸已開始量產浸潤式深紫外光(DUV)微影設備設備,今年預計生產5台,並計畫在2027年將年產量提升至20台,目標是逐步取代艾司摩爾(ASML)設備,消息一出引發市場震撼。

根據路透引述知情人士報導,大陸已開始量產自主研發DUV,象徵降低對外國技術依賴的重要一步,負責生產的企業為成立僅約三年的國營公司「上海愛晟納電子科技集團(Aishengna)」,該公司相當低調,沒有官方網站,也未公開營運資訊。

資料顯示,愛晟納於2023年8月成立,註冊資本達70億人民幣,由上海電氣控股公司及上海國際信託公司旗下子公司共同持股。知情人士指出,公司整合了上海微電子裝備集團(SMEE)與上海宇量昇科技的人才與技術,其中宇量昇去年已開始測試DUV原型機。

值得關注的是,宇量昇同時也是華為投資的半導體設備商新凱來(SiCarrier)的關係企業,招聘資訊也顯示,愛晟納與宇量昇共用上海同一辦公地址。

報導指出,首批國產DUV設備預計將交付中芯國際、華虹半導體及長鑫存儲等大陸主要晶片製造商。不過,市場分析普遍認為,短中期內尚不足以對ASML的市場地位及獲利造成實質衝擊。摩根大通分析師指出,能夠製造DUV設備,與打造可穩定支援晶片大量生產的成熟設備,是兩種不同層次的技術挑戰,關鍵仍在於良率、疊對精度、產能與長時間運作的可靠性。

此外,CNBC也分析,大陸半導體設備仍面臨不少挑戰,包括目前主要適用於較低階製程,以及設備良率仍有待提升。財經作家狄驤也表示,具備設備製造能力,不代表已擁有成熟的晶片量產能力,若無法提升生產良率,晶片製造成本與難度仍將居高不下,這也是大陸多年來雖持續傳出DUV研發突破,卻仍高度依賴西方設備的重要原因。

2026/07/29 09:37

轉載自中時新聞網: https://www.chinatimes.com/realtimenews/20260729001340-260410