美商務部質疑ASML的EUV設備流入中國大陸。（示意圖/達志影像/shutterstock）
荷蘭半導體設備巨頭艾司摩爾（ASML）面臨川普政府上台後的重大考驗。知情人士透露，美國商務部長盧特尼克近期在一連串會議中，向ASML高層表達關切，擔憂該公司最先進的極紫外光（EUV）微影設備可能已流入中國大陸，違反美國主導的出口限制令。對此，ASML高層極力駁斥指控，並解釋該設備體積像一台校車般巨大且需持續維護，不可能出現在大陸境內。
外媒報導，EUV系統是台積電等晶圓代工大廠為輝達、蘋果生產頂級處理器的關鍵設備。自第一任川普政府實施出口限制以來，ASML便被禁止將EUV設備出貨至中國大陸。
消息人士指出，ASML對盧特尼克的質疑強力駁斥。ASML解釋，每台EUV設備體積相當於一輛校車、重量高達180噸，目前全球產量極為有限，且運作過程需要ASML技術人員進行不間斷的現場維護，因此在技術與物流層面上，不可能有任何一台設備在中國大陸境內運作。
ASML發言人隨後也發表聲明，重申公司定期與各國政府溝通，且完全遵守所有出口相關規範。
目前尚不清楚川普政府要求ASML採取何種具體配合措施，這使ASML陷入必須證明指控不成立的自清處境，外界也無法得知ASML需提供何種資訊才能平息爭議。
針對此事，美國商務部多次面對詢問均未予回應，並未說明是否掌握中國大陸確實存有EUV設備的具體證據。
不過，多位不具名美國政府高層官員則宣稱，他們握有ASML並未完全善意配合的證據，指出該公司曾向大陸出口與EUV設備相關的特殊零組件。對於這項出口指控，ASML已向媒體公開否認。
知情人士透露，ASML私下已啟動危機應變模式。在4月份與盧特尼克會面後，該公司隨即在華府政壇發布一份名為「沒有ASML EUV系統在中國的跡象」的澄清文件，以回應美方質疑。據彭博檢視文件內容指出，目前全球共有314台運作中的EUV設備，另有26台已除役，其中沒有任何一台流入中國大陸。
2026/06/19 12:17
轉載自中時新聞網: https://www.chinatimes.com/realtimenews/20260619001734-260410
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